XDD1 隔膜泵緊湊高效,可在清潔、高真空應(yīng)用中用作小型復(fù)合渦輪分子泵的前級(jí)泵,也可用作獨(dú)立的臺(tái)式機(jī)組。XDD1 用作 70 ls-1 的渦輪分子泵的前級(jí)泵時(shí),典型極限壓力可優(yōu)于 5 x 10-8 mbar。
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